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真空镀膜设备膜均匀性概念是什么?
2018-11-02  来自: 肇庆高要区恒誉真空技术有限公司浏览次数:64


  1.真空镀膜设备厚度上的均匀性,也可以理解为粗糙度,在光学薄膜的尺度上看(也就是1/10波长作为单位,约为100A),真空镀膜的均匀性已经相当好,可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内,也就是说对于薄膜的光学特性来说,真空镀膜没有任何障碍。 但是如果是指原子层尺度上的均匀度,也就是说要实现10A甚至1A的表面平整,具体控制因素下面会根据不同镀膜给出详细解释。

  2.真空镀膜设备化学组分上的均匀性: 就是说在薄膜中,化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性,SiTiO3薄膜,如果镀膜过程不科学,那么实际表面的组分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,镀的膜并非是想要的膜的化学成分,这也是真空镀膜的技术含量所在。 具体因素也在下面给出。

  3.真空镀膜设备晶格有序度的均匀性: 这决定了薄膜是单晶,多晶,非晶,是真空镀膜技术中的热点问题,具体见下。

  真空镀膜设备真空镀膜机主要分类有两个大种类: 蒸发沉积镀膜和溅射沉积镀膜,具体则包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,溶胶凝胶法等等 。

关键词: 真空镀膜设备           

肇庆市高要区恒誉真空技术有限公司主要产品有:车灯保护膜机,塑料镀铝机,车灯镀膜机,PVD镀膜机,光学镜片镀膜机,光学镀膜机,钛金炉,多弧镀膜机,蒸发镀膜机,离子镀膜机,塑料镀膜机,陶瓷镀膜机,溅射镀膜机,卷绕镀膜机,真空镀膜机,镀膜机,离子镀,超更膜,镀铝机,溅射机,镀钛机,工具镀,光学机,真空电镀机等系列。


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