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真空镀膜设备使用步骤

2019-01-11  来自: 肇庆高要区恒誉真空技术有限公司 浏览次数:252

  真空镀膜设备使用步骤

  1电控柜的操作

  1)开水泵、气源

  2)开总电源

  3)开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。

  4)开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。

  5)观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和高阀继续抽真空,抽真空到达程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。

  2DEF-6B电子枪电源柜的操作

  1)打开总电源

  2)同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源:按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关,延时、电源及保护灯亮,三分钟后延时及保护灯灭,若后门未关好或水流继电器有故障,保护灯会常亮。

  3)开高压,高压会达到10KV以上,调节束流可到200mA左右,帘栅为20V/100mA,灯丝电流1.2A,偏转电流在1~1.7之间摆动。

  3关机顺序

  1)关高真空表头、关分子泵。

  2)待分子泵显示到50时,依次关高阀、前级、机械泵,这期间约需40分钟。

  3)到50以下时,再关维持泵。

肇庆市高要区恒誉真空技术有限公司主要产品有:手机镀膜机,光学镀膜机,塑料镀铝机,PVD镀膜机,光学镜片镀膜机,钛金炉,多弧镀膜机,pvd真空电镀,离子镀膜机,镀钛机,陶瓷镀膜机,溅射镀膜机,卷绕镀膜机,真空镀膜机,镀膜机,离子镀,真空电镀机,真空镀膜设备等系列。


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