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蒸发镀膜机厂家讲解化合物的蒸镀

2017-10-25  来自: 肇庆高要区恒誉真空技术有限公司 浏览次数:433

  蒸发镀膜机厂家讲解化合物的蒸镀

  化合物的蒸镀方法有3种:直接蒸镀法、反应蒸镀法和双蒸发源蒸镀法。

  在使用直接蒸镀法时,化合物可能发生如下变化:化合物的组成不发生变化r可以直接沉积得到化合物薄膜;加热时,化合物分解形成含有多种气相成分的蒸气,沉积时得到的是某些气相成分的薄膜;化合物加热时分解,得不到薄膜,前两种情况均可以制取化合物薄膜,但是在应用时,应注意加热温度条件,因为某些情况下,加热温度不同,各种气相成分的组成不同,获得的薄膜也就不同。

  反应蒸镀法是在充满活性气体的条件下,蒸发固体材料,使之在基片上进行反应获得化合物薄膜的方法。这种方法净常用于镀制高熔点化合物薄膜。

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